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近日，2009年遼寧省科技進步獎評選結果揭曉。新松機器人自動化股份有限公司自主研發的潔凈機器人項目榮獲遼寧省科技進步一等獎，這是新松公司成立十年來首次獲此殊榮。

潔凈機器人是一種在潔凈環境中使用的工業機器人，主要包括大氣機械手、潔凈鍍膜機械手和潔凈機械手碼垛包裝線等，主要應用領域為IC裝備、平板顯示（FPD）、電子、生物制藥和食品等行業。

該成果使我國在裝備制造方面取得重要突破，打破了半導體制造裝備的關鍵部件依賴于進口的局面，提升了我國在自動化技術及裝備的研究開發水平和創新能力。